Додаток, п. 50

Чинна редакція від 15.10.2004

Додаток до Програми

Розроблення тех- 2008-2009 395 225 170

нології виробниц-

тва карбід-крем-

нієвих мікрохви-

льових планарних

діодів з бар'єром

Шоттки