Розроблення 2005-2008 135 30 30 45 30
технології та
модернізація
технологічної
бази з виготов-
лення надпотужних
кремнієвих лави-
нопрольотних
діодів 8-мілі-
метрового діапа-
зону імпульсного
режиму роботи
Розроблення 2005-2008 135 30 30 45 30
технології та
модернізація
технологічної
бази з виготов-
лення надпотужних
кремнієвих лави-
нопрольотних
діодів 8-мілі-
метрового діапа-
зону імпульсного
режиму роботи