Розроблення та 200 75 65 60
впровадження тех-
нологій виготов-
лення надчистих
речовин для
створення матері-
алів надвисоко-
частотної
електроніки 2005-2006
Розроблення та 200 75 65 60
впровадження тех-
нологій виготов-
лення надчистих
речовин для
створення матері-
алів надвисоко-
частотної
електроніки 2005-2006