Розроблення і 75 60 15 впровадження тех- нології виготов- лення підкладок для гетерострук- тур на основі AЗB5, призначених для надвисокочас- тотних приладів - " -
Розроблення і 75 60 15 впровадження тех- нології виготов- лення підкладок для гетерострук- тур на основі AЗB5, призначених для надвисокочас- тотних приладів - " -