Розроблення та Інститут 300 100 100 100 впровадження у фізики
виробництво напів-
іонно-плазмових провідників
технологій формування
високостабільних
контактних систем
та діелектричних шарів
Додаток до Програми → IV. Напівпровідникова надвисокочастотна електроніка міліметрового діапазону довжин хвиль
Розроблення та Інститут 300 100 100 100 впровадження у фізики
виробництво напів-
іонно-плазмових провідників
технологій формування
високостабільних
контактних систем
та діелектричних шарів