Розроблення та Інститут 200 60 60 70 впровадження у фізики
виробництво напів-
плазмохімічних та провідників
іонно-плазмових
методів травлення Інститут 50 20 15 15
напівпровідників ядерних досліджень
Додаток до Програми → IV. Напівпровідникова надвисокочастотна електроніка міліметрового діапазону довжин хвиль
Розроблення та Інститут 200 60 60 70 впровадження у фізики
виробництво напів-
плазмохімічних та провідників
іонно-плазмових
методів травлення Інститут 50 20 15 15
напівпровідників ядерних досліджень