Розроблення та -"- 150 50 50 50 впровадження у
виробництво
іонно-плазмових
технологій легування
напівпровідників
Додаток до Програми → IV. Напівпровідникова надвисокочастотна електроніка міліметрового діапазону довжин хвиль
Розроблення та -"- 150 50 50 50 впровадження у
виробництво
іонно-плазмових
технологій легування
напівпровідників