Дослідження і -"- 1280 300 400 500 розроблення технології
МОС-гідридної та
молекулярно-променевої
епітаксії арсеніду
галію та твердих
розчинів A(в ступ.
3)B(в ступ. 5),
виробництво
епітаксійних структур
для надвисокочастотних
приладів
__________________________ Усього за роками 21540 20795 14375
Разом 59360