Дослідження, розробка -"- 490 200 150 100 та впровадження молекулярно-променевої епітаксії гетероструктур на основі кремнію для створення надвисокочастотних інтегральних структур та схем
Додаток до Програми → IV. Напівпровідникова надвисокочастотна електроніка міліметрового діапазону довжин хвиль
Дослідження, розробка -"- 490 200 150 100 та впровадження молекулярно-променевої епітаксії гетероструктур на основі кремнію для створення надвисокочастотних інтегральних структур та схем