Модернізація існуючої Інститут 410 200 150 технологічної бази для мікроприладів забезпечення розробки та виготовлення кремнієвих інтегральних надвисокочастотних структур та схем
Додаток до Програми → IV. Напівпровідникова надвисокочастотна електроніка міліметрового діапазону довжин хвиль
Модернізація існуючої Інститут 410 200 150 технологічної бази для мікроприладів забезпечення розробки та виготовлення кремнієвих інтегральних надвисокочастотних структур та схем