Розробка нових бром- -"- 50 20 15 15 та йодвиділяючих
травильних композицій
для хімічного
полірування
напівпровідникових
матеріалів
інфрачервоної техніки
та створення нових
композицій для
пасивації їх поверхні
Додаток до Програми → II. Інфрачервона мікрофотоелектроніка
Розробка нових бром- -"- 50 20 15 15 та йодвиділяючих
травильних композицій
для хімічного
полірування
напівпровідникових
матеріалів
інфрачервоної техніки
та створення нових
композицій для
пасивації їх поверхні