Відпрацювання та Інститут 500 100 100 300 оптимізація фізики
технологічного напів-
маршруту та окремих провідників
процесів виготовлення
функціональних Інститут 400 150 150 100
елементів та мікроприладів
фотоприймальних
пристроїв у цілому
на основі
охолоджуваних діодних
і неохолоджуваних
мікроболометричних
матриць