Додаток, розд. II, п. 13

Чинна редакція від 15.10.2004

Додаток до Програми → II. Інфрачервона мікрофотоелектроніка

Розроблення -"- 400 130 130 140 технології

виготовлення схем

зчитування.

Опрацювання

технологічних режимів

та маршруту

виготовлення

кремнієвих фокальних

процесорів на базі

КМОН-технології

з проектними нормами

не гірше 1,6 мкм,

розробка

нестандартного

технологічного

обладнання