Розроблення Інститут 50 20 15 15 технології фізики
виготовлення напів-
неохолоджуваних провідників
фоточутливих
структур - Інститут 150 50 50 50
мікроболометричних мікроприладів
матриць на основі
кремнію
Додаток до Програми → II. Інфрачервона мікрофотоелектроніка
Розроблення Інститут 50 20 15 15 технології фізики
виготовлення напів-
неохолоджуваних провідників
фоточутливих
структур - Інститут 150 50 50 50
мікроболометричних мікроприладів
матриць на основі
кремнію